一、设备参数设置

在进行真空覆膜之前，需要进行工艺参数的设置。具体的设置要根据不同的材料和膜层进行调整。通常需要设置的参数包括反应压力、温度、时间及气体流量等。在设置阶段，需要根据所需的材料和质量进行调整，确定一个合理的参数范围。

二、真空度的控制

真空度是真空覆膜的重要参数之一。在膜层制备的过程中，需要保证室内真空度始终处于一定范围内。如实验室级别的真空度一般大约为10^−5-10^−7 mbar左右，而生产中一般要求真空度为10^−4-10^−5 mbar。

真空度的控制需要根据实际需求来进行调整。一般需要进行多次测试，通过不断调整真空泵的转速和抽气时间来实现真空度的控制。

三、电源参数设置

真空覆膜机的电源参数设置直接影响到膜层的制备质量。一般需要根据材料的物理性质以及所需的膜厚来进行调整。

常见的电源参数包括功率、电压和频率等。在设置电源参数时，需要先了解所需的材料和膜层，然后选择合适的功率和电压，并合理调整频率。